Is iad comhpháirteanna folúis na haonaid bhunúsacha fheidhmiúla arb é an córas folúis iad. Tá siad freagrach as timpeallacht shonrach ísealbhrú a bhaint amach agus a chothabháil i spás dúnta agus tacú le próiseas gaolmhar. Luíonn a chroíluach coinníollacha fisiceacha speisialta a chruthú agus a rialú atá difriúil ó ghnáthbhrú.
Go ginearálta ní mór d'fheistí den sórt sin dul i ngleic le riachtanais dhian timpeallachtaí dlús gáis an-íseal. Éilíonn a gcuid próiseas dearaidh agus déantúsaíochta próiseáil próisis speisialta chun scaoileadh gáis an ábhair féin a íoslaghdú agus sláine struchtúrach agus iontaofacht séalaithe a chinntiú ag an scála micreascópach. Áirítear leis na feidhmeanna eastóscadh gáis, rialú sreafa, leithlisiú agus scaradh, braistint staid bhrú, agus seoladh treo ar fhuinneamh nó substaintí ar leith i bhfolús.
Cuireann an tsineirgíocht eatarthu ar chumas an chórais leibhéil éagsúla coinníollacha oibre a bhaint amach agus a chothabháil go cobhsaí ó fholús garbh go bhfolús ultra-ard, ag soláthar tacaíocht riachtanach d'oibríochtaí ina dhiaidh sin i dtimpeallacht folúis. Cinneann a fheidhmíocht go díreach íonacht, cobhsaíocht agus inrialaitheacht choinníollacha inmheánacha an tseomra folúis, rud a chuireann isteach ar chruinneas agus ar in-atrialltacht próisis fhisiceacha nó cheimiceacha éagsúla a bhraitheann ar an timpeallacht seo.
Is é roghnú agus cumraíocht na gcomhpháirteanna folúis an chomaoin bhunúsach chun réitigh fholúsacha éifeachtacha agus iontaofa a thógáil, agus úsáidtear go forleathan é i réimsí taighde tionscail agus eolaíochta le rialú docht ar thimpeallachtaí gáis.